NED363753NED

93 , 1 1 3 1 ср          S S P S S P P (5.54) , 1 1 2 1 отп          S S P S S P P (5.55) где, согласно изложенному выше, Р ср = 0,95 Р , Р отп = 0,65 Р . При P = 0 правые части уравнений модели (5.44) равны нулю, поэтому , 1 1 3 cp         S S P P (5.56) , 1 1 2 отп         S S P P (5.57) где, согласно изложенному выше, Р ср = 0,65 Р , Р отп = 0,35 Р . Подставляем известные и полученное значения в уравнение (5.56) и определяем эффективную площадь мембраны управляющей камеры пульса- тора: 3 1 86,2 S S  . Подставляем известные и полученное значения в уравнение (5.57) и определяем площадь большого вакуумного клапана по диаметру вакуумного сопла: 3 2 86,1 S S  . Подставляем известные и полученное значения в уравнение (5.56) или (5.57) и определяем эффективную площадь мембраны камеры подпора: 3 86,0 S S  . В соответствии с условием (5.46) полученные результаты представим в виде . (5.58) После этого необходимо определить диаметры защемлений и жесткого центра мембран пульсатора, исходя из того, что для определения их эффек- тивных площадей существуют следующие формулы [99]: – эффективная площадь мягкой мембраны определяется по формуле 12 π 2 D S  , (5.59) – эффективная площадь мембраны с жестким центром определяется по формуле ) ( 12 π 2 1 2 1 1 ddD D S    , (5.60) где D, D 1 – диаметры защемлений мембран; d – диаметр жесткого центра мембраны.